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硅片尺寸不断提升
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半导体硅片可以按照尺寸、工艺等方式进行划分。按照尺寸划分,一般可分为12 英寸(300mm)、8 英寸(200mm)、6 英寸(150mm)、5 英寸(125mm)、4 英寸(100mm)等规格;按照工艺划分,一般可分为硅研磨片、硅抛光片、硅外延片等,其中以硅抛光片和硅外延片为主。
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最后更新: 2022-01-03
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图表内容
图表15:硅片尺寸不断提升
150m
200mm
300mm
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