图表内容
图28:几种单晶硅珪对热场材料要求
项目
光伏硅单晶半导体硅单晶
设备
单晶炉
单晶炉
主流工艺
直拉法
直拉法
P型单晶
产品特点
N型单晶为主
N型单晶
单晶硅纯度需达到
单晶硅纯度需达到
产品要求
99.999999999%以
99.999999%以上
P型单晶:<
200ppm:
热场材料灰度要求
<30ppm
N型单晶:<
100ppm
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图28:几种单晶硅珪对热场材料要求
项目
光伏硅单晶半导体硅单晶
设备
单晶炉
单晶炉
主流工艺
直拉法
直拉法
P型单晶
产品特点
N型单晶为主
N型单晶
单晶硅纯度需达到
单晶硅纯度需达到
产品要求
99.999999999%以
99.999999%以上
P型单晶:<
200ppm:
热场材料灰度要求
<30ppm
N型单晶:<
100ppm
