图表内容
图56：半导体国产化仍然任重道远
设备名称
国产化率(%)
国内代表性厂商
去胶设备
90%以上
北京屹唐半导体科技有限公司
清洗设备
20%左右
盛美半导体、北方华创
刻蚀设备
20%左右
中微公司、北方华创、北京屹
唐半导体科技有限公司
热处理设备
20%左右
北方华创、北京屹唐半导体科
技有限公司
PVD设备
10%左右
北方华创
CMP设备
10%左右
天津华海清科机电科技有限公
涂胶显影设备
零的突破
芯源微
光刻设备
预计将有零的突玻
上海微电子装备（集团）股份有限
公司
数据来源：东北证券，公开资料整理
