图表内容
6:改良西门子法工艺流程一览
各单元泄压、三废
电解盐水、并
三氯氢硅
合成氯化氢
(TCS、TET、DCs)
卡三废
精馏
还原
产品整理
氯硅烷
TCS、TET、DCS
冷氢化
TET
氯硅烷
氢气
氢气
(TCS、TEI、DCs
氧硅烷
(TCS、TET、
DCS)
氢气
尾气回收
来源：东北证券，大全能源招股说明书
改良西门子法工艺流程一览
研究报告节选:
数据来源：东北证券，CPIA 改良西门子法是用氯气和氢气合成氯化氢，氯化氢与工业硅粉在一定的温度下生产 三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯，提纯后的三氯氢硅在还原炉内进行化学气相沉积反应生产高纯多晶硅，其主要是在西门子法基础上增加了尾气回收和四氯化硅氢化工艺，实现了生产过程的闭路循环和原料的循环利用，解决了西门子法还原过程单次转化率低的问题，提高了物料使用率，降低了生产成本，同时避免副产品直接排放污染环境。最后更新: 2022-08-05
相关行业研究图表
某钢结构屋面的厂房BAPV系统与BIPV成本对比表
青海格尔木500MW光伏项目（集中式）
当前光伏玻璃行业呈现双寡头格局
光伏幕墙系统发电能力小于光伏屋顶系统
流化床颗粒硅反应器示意图
2011·20上中至沈庆千度新眉液视人改
6:改良西门子法工艺流程一览
各单元泄压、三废
电解盐水、并
三氯氢硅
合成氯化氢
(TCS、TET、DCs)
卡三废
精馏
还原
产品整理
氯硅烷
TCS、TET、DCS
冷氢化
TET
氯硅烷
氢气
氢气
(TCS、TEI、DCs
氧硅烷
(TCS、TET、
DCS)
氢气
尾气回收
来源：东北证券，大全能源招股说明书
