流化床颗粒硅反应器示意图

研究报告节选:

数据来源：东北证券，大全能源招股说明书 硅烷流化床法主要是硅烷和氢气的混合气通过反应器底部进入流化床。在反应器顶部加入平均粒径约为 0.2～0.6 mm 的细小硅颗粒作为籽晶，在反应器外壁加热器的作用下，同时伴随载气流速的不断增加，颗粒床层由固定床转变为流化床，转变时对应的流速即为最小流化速度 Umf。最小流化气速 Umf 可以通过尔格方程测算。在此条件下，硅烷受热立即分解为硅和氢气。硅烷分解后产生的硅沉积在籽晶表面，籽晶颗粒长到一定尺寸由于重力作用掉落到反应器底部，从反应器底的颗粒收集系统采出。这种持续加入籽晶和通入硅烷气和载气的方法，可以达到连续化生产。硅烷流化床法生产粒状硅在技术方面和成本控制方面均有明显的优势，硅烷流化床在技术方面客观存在的技术难题主要包括流化床平稳性控制，产品中存在残氢，产品表面存在硅粉以及产品杂质含量有待提高等方面。以上的问题逐步解决后，硅烷流化床法生产粒状硅在多晶硅行业的优势将更加明显，市场中的占有率会进一步增大。 图 17：流化床颗粒硅反应器示意图