图表内容 表23多氟多六氟磷酸锂生产工艺流程 硫酸 萤石粉 三氯化磷 C02 碳酸锂 外热式反应炉 塔式反应器 碳酸锂碳化 硫酸钙 五氯化磷 浓硫酸吸收塔 碳酸氢锂 氯化钙 合成 冷凝、精馏 合成 包装 副产品 五氟化磷 六氟磷酸锂