图表内容
图表36湿电子化学品技术指标
SEM指标
G1
G2
G3
G4
G5
金属杂质/（μg/L)
≤100
≤10
s1
s0.1
s0.01
控制粒径μm
21.0
≥0.5
20.5
20.02
颗粒个数/（个mL)
≤25
≤25
s5
供需双方协定
适应IC线宽范围μm
>1.2
0.8-1.2
0.2-0.6
0.09-0.2
<0.09
湿电子化学品技术指标
研究报告节选:
湿电子化学品核心在于超净高纯。湿电子化学品又称工艺化学品，是指主体成分纯度大于 99.99%，尘埃颗粒粒径控制在 0.5µm 以下，杂质含量低于 ppm 级的化学试剂，是目前所有化学试剂中对颗粒控制、杂质含量要求最高的试剂。湿电子化学品主要作用为清洗剂被广泛应用于微电子、光电子湿法工艺中，其核心要素为超高洁净度和超低杂质含量，因而它对原料、纯化方法、配方工艺、容器、生产设备、环境控制、测试和运输设备等都有极为严格的要求。为了区分不同等级的湿电子化学品，国际半导体设备和材料组织（SEMI）通过湿电子化学品中金属杂质含量、控制粒径范围和颗粒个数等各项指标将湿电子化学品划分为 G1-G5 五个等级，其中G5 等级的湿电子化学品要求最高，金属杂质浓度需达到 10 ppt 级别，一般用于半导体行业高端集成电路，对应 12 英寸的晶圆制备为主。G1 等级的湿电子化学品要求最低，金属杂质浓度仅需达到 10 ppm 级别，控制粒径大于等于 1.0 µm，颗粒个数小于等于 25 个/mL 即可，对应下游行业为分立器件和太阳能电池板。中间的G2-G4 等级湿电子化学品主要用于面板行业和半导体行业中中低端集成电路。最后更新: 2022-08-05
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图表36湿电子化学品技术指标
SEM指标
G1
G2
G3
G4
G5
金属杂质/（μg/L)
≤100
≤10
s1
s0.1
s0.01
控制粒径μm
21.0
≥0.5
20.5
20.02
颗粒个数/（个mL)
≤25
≤25
s5
供需双方协定
适应IC线宽范围μm
>1.2
0.8-1.2
0.2-0.6
0.09-0.2
<0.09
