图表内容
主要产品
指标
工艺标准（富创精密制定）
耐腐蚀性
产品可实现酸性盐雾环境中几十天膜层不发生腐蚀
过渡腔
密封性
氨测漏率（即标准大气压下，每秒钟侧漏氦气量）达到极低水平
洁净度
在百级洁净室进行高洁净度化学清洗、包装，产品可达到紫外线检测下表面无可视荧光粒子
耐腐蚀性
同过渡腔
密封性
同过渡腔
传输腔
洁净度
同过渡腔
可达极低的om数值（真空状态下，气体稀薄程度通常用气体的压力值来表示，压力值越小则表
真空度
示气体越稀薄，真空度越高，tor为气体压强单位)
耐腐蚀性
阳极膜层在盐酸中浸泡数小时不产生任何气泡
密封性
同过渡腔
反应腔
洁净度
同过渡腔
真空度
同传输腔
耐击穿电压
每0.001英寸膜厚的耐击穿电压达到较高水平
耐腐蚀性
阳极膜层在盐酸中浸泡数小时不产生任何气泡
致密性
孔隙率（多孔物体的孔隙体积和总体积之比）达到较低水平
内衬
LPC液态粒子检测（在标准体积的溶液里检测出的大于0.2微米的粒子数量需要低于一定数量）
洁净度
和ICP金属元素检测（每平方厘米允许含有的不同金属原子需要低于一定数量）
耐击穿电压
每0.001英寸膜厚的耐击穿电压需达到较高水平，该指标内衬低于反应腔
LPC液态粒子检测（在标准体积的溶液里检测出的大于0.2微米的粒子数量需要低于一定数量）
洁净度
和ICP金属元素检测（每平方厘米允许含有的不同金属原子需要低于一定数量）
匀气盘
加工最小孔径为0.3毫米，孔口无毛刺，微孔孔径尺寸公差可控制在±几微米内，孔径一致性标准
微孔加工
差值可控制在几微米内
资料来源：富创精密招股说明书，民生证券研究院
