图表内容
MKS半导体业务
Deposition Etch
Lithography Inspection
研究报告节选:
半导体业务是 MKS 公司的核心业务,公司的半导体业务共有沉积和蚀刻、湿法工艺、计量和检验以及光刻四大模块,拥有 RF 射频电源、真空压力计、电容压力计、流量计、真空法兰和管件、各类阀门和疏水阀、等离子体源、臭氧发生器等多品类半导体零部件。公司致力于解决半导体客户的复杂问题,有着先进的半导体零部件制造技术,其生产的 RF 射频电源能够钻出数十亿个纵横比大于 55:1、完全笔直和平行的孔,相当于以小于 0.5 英寸的偏差击中大于 1 英里外的目标。 图 15:MKS 半导体业务