西门子法还原炉示意图

研究报告节选:

硅烷流化床的原理：根据《硅烷流化床法生产粒状多晶硅》，硅烷流化床法主要是硅烷和氢气的混合气通过反应器底部进入流化床。在反应器顶部加入平均粒径约为 0.2～ 0.6 mm 的细小硅颗粒作为籽晶，在反应器外壁加热器的作用下，同时伴随载气流速请务必阅读尾页重要声明 4