硅烷流化床法生产工艺-小牛行研(hangyan.co)-AI驱动的行业研究数据服务

硅烷流化床法生产工艺

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改良西门子法 三氯氢硅、氢气 电子级、太阳能级 请务必阅读尾页重要声明 5
最后更新: 2022-11-21

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协鑫科技 | 上海证券 | 2022-11-20 | 34个图表

图表内容


图3硅烷流化床法生产工艺
品硅种子
三氯氢硅合成
三氯氯硅歧化
反应
电用加热器
SH4
硅烷合成