图表内容
图10协鑫相关专利解决含氢量和硅粉
氢气
氯氢化装置
精馏装置三
硅烷气源
四氯化硅源
瓷化床装置
气固分离装置
颗粒硅源一
细硅粉产品储理
奇料来源:《一种颗粒硅生产方法和系统》张宝顺、蔡延国等,上海证恭
研究报告节选:
氢跳和硅粉都可以通过二次处理解决:硅粉目前主要从尾气排出后作为副产品收集并出售,收集比例超过 10%。硅粉目前的解决方式主要有两种,一种可以通过优化反应器中的关键参数,包括增加顶部带出气体的流量、减少硅粉回落、升高反应温度使硅单质快速成晶,从而降低硅粉产生。另外一种方法是对生产出来的粒状硅进行抛光处理,设计抛光装置,在氮气保护气氛下,提供一定的湿度、温度和氮气气速,抛光后的粒状硅表面硅粉去除率达到 98%以上。