图表内容
表8硅石、碳和冶金级硅中的杂质
杂质
石英
碳(ppma)
MG硅(ppma)
(ppma）
1570±580
44±13
Cr
137±75
Fe
2070±510
28±6
其他
Mn
70±20
Ni
47±28
Ti
163±34
100±47
黄料来源：于站良《超治金级硅的制备研究》，上海证养研究所
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石英
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(ppma）
1570±580
44±13
Cr
137±75
Fe
2070±510
28±6
其他
Mn
70±20
Ni
47±28
Ti
163±34
100±47
黄料来源：于站良《超治金级硅的制备研究》，上海证养研究所
