图表内容
表2：中国石英坩埚产业相关政策汇总一览
发布日期
发布部门
政策名称
主要内容
本文件界定了半导体单晶硅生长用石英
2021年7
中国电子材料行业
《半导体单晶硅生长用石英坩埚标
坩埚的术语和定义，规定了规格尺寸、
协会
准》(T/CEMIA023-2021)
技术要求、试验方法、检验规则、标
志、包装、运输、储存。
本文件确立了半导体单晶硅生长用石英
2020年12
中国电子材料行业
《半导体单晶硅生长用石英坩埚标
坩埚从业人员、生产设备、主要原辅材
协会
料、生产工艺、作业环境及产品质量管
控的程序和总体原则。本文件适用于半
导体单晶硅生长用石英坩埚生产过程。
