图表内容
24:使用有机掩膜工艺的SH!太阳能电池电镀后段处理工艺
PVD deposition
Mask deposition
ITO+metal seed
Inkjet or screen
Plating
Etching
Cu plating
Etching of PVD stack
layer
printing
Bifacial plating
Wet chemical etching
e.g Cu
SH precursor with TCO
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Wet chemical etching
e.g Cu
SH precursor with TCO
