图表内容 表3:2007年石英坩埚的外径行业标准 外径 外径偏差 高度公差 厚度公差 偏壁度 椭圆度 d≤305 ±3 ±3 ±1.5 1.0 305<ds457 ±4 ±3 ±2.0 1.5 d>457 ±6 ±3 ±2.5 1.5 资料来源: 《JC/T1048-2007单晶硅生长用石英坩埚》, 民生证券研究院