图表内容 图表半导体零部件类别 类别 具体内容 机械标准件 机械手臂、旋转接头、模组、传感器、流量计、导轨、密封 件、轴承、螺栓、抛光液供液系统 机械加工件 基座、托盘轴、主轴、抛光盘、承载盘、保持环、安装板、 焊接件、保护罩 液路元件 流量控制器、传惑器、液路阀、液路接头、温控器、泵 电气元件 电机、驱动器、电源类、工控机、连接器、线缆、变压器、 继电器 气动元件 电气比例阀、电磁阀、弯头、气缸、气爪、过滤器、垫片 其他 管类、电线、硅片、抛光液、清洗类、工具类、五金类