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N型TOPCon电池工艺及重，点设备-小牛行研(hangyan.co)-AI驱动的行业研究数据服务

N型TOPCon电池工艺及重，点设备

研究报告节选:

通过激光硼掺杂可帮助 TOPCon 电池在正面对硼硅玻璃进行选择性掺杂，实现选择性发射极 SE 结构，降低电极区域的接触电阻，有望提升电池的转换效率 0.2pct-0.4pct，但 TOPCon 的 SE 工艺难点主要是硼掺杂工艺难度更为复杂，硼在硅的固溶度低于磷，掺杂难度更高，在推进时需求更高的能量。因此当使用激光掺杂时需要采用功率更高的激光器。
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最后更新: 2022-12-19

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帝尔激光 | 华安证券 | 2022-12-18 | 35个图表

图表内容

表19N型TOPCon电池工艺及重，点设备
TOPCon
清洗+制绒
清洗制绒设备
扩散炉
正面选择性重掺形成P++
激光设各
背面刻蚀
刻蚀设备
LPCVD氧化及况积Por-Si
PECVD/PVD/ALD氧化及
LPCVD
PECVD/PVD/ALD扩散护
POCL3扩散
离子注入
扩散炉
离子注入机
退火
退火
退火炉
退火炉
单面多品硅刻蚀
刻蚀设备
PECVD前表面ALQ/S
PECVD/ALD
PECVD后表面以
PECVD
丝网印刷/激光转印
印刷设备/激光设各
烧结炉
测试分选
测试分选设备
料来源：光伏技术，华安证券研究所整理

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