图表内容
5:阿斯麦光刻机总体结构
Laser
Wafer Transport System
Beam Delivery
Projection lens
Operator Control Unit
Scanning Reticle Stage
Airmounts
Scanning Wafer Stage
料来源：ASML
中原证券
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5:阿斯麦光刻机总体结构
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Wafer Transport System
Beam Delivery
Projection lens
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Scanning Reticle Stage
Airmounts
Scanning Wafer Stage
料来源：ASML
中原证券
