海拓创新静电吸盘产品

研究报告节选:

半导体制造工艺中晶圆加工过程有多道工序，每一道工序都需要保证晶圆的平稳固定，静电吸盘已经成为应用最广泛的晶圆夹持工具，是刻蚀设备、PVD 设备、PECVD 设备、离子注入设备等的核心部件。