新松真空机械手ARCHER系列产品

研究报告节选:

机械手是重要的机电一体类零部件，半导体行业对机械手的要求较为严格，半导体机械手主要用于晶圆传送，需要机械手动作灵活稳定；具有高重复定位精度，保证传片精度；真空机械手需要有较高的耐真空性，可胜任高真空环境下晶圆传片需求。半导体机械手具有洁净度高、精度高、效率高以及可靠性高等特点。