图表内容
表6：2021Q1部分半导体设备零部件供应商及国产化率情况
主要零部件名称
海外供应商
国内供应商
国产化率
石英器件
Ferrotec
Heraeus
菲利华、凯德石英、太平洋石英
>10%
喷淋头
新鹤
靖江先锋、江丰电子
>10%
真空泵
Edwards
Ebara
沈阳科仪、汉钟精机
5-10%
射频电源
Advanced Energy
MKS
英杰电气、北广科技
1-5%
机械手
Brooks
Yaskawa
JEL
新松机器人
1-5%
MFC
Brooks
MKS
北方华创，万业企业
1-5%
VAT
MKS
Fujikin
CDK
斯莱应材
<1%
