图表内容
表7：国外主要半导体设备零部件厂商情况
过去5年
所在
厂商名称
主要产品及收入占比
21年财务指标
营收复合
成长路径
国家
增速
通过并购不断扩展产品线和应
MFC、射频电源、真空产品、
用领域，2012-2021年共有5
营收21.2亿美元，
气体分析仪器、压力控制器、
次并购，2012年收购
MKS仪器
美国
毛利率46.79%，净
11.39%
阀等，半导体市场占比60%左
PLASMART
拓展电源业务：
利率18.69%
右，先进制造业占比40%。
2016年收购Nowport
开拓微
电子、生命科学及工业市场。
Edwards
真空泵，电子行业（半导体、
营收27.96亿美元，
专注于真空泵业务，近年来主要
英国
10%左右
(atlas Copco
面板等)占比70%，过程工业
营运利润率24.2%。
由亚洲地区的半导体和面板业
