图表内容
表8：国内主要半导体设备零部件厂商情况
过去3年营
进入海外设备厂商情
进入国内设备厂商和晶
厂商名称
主要产品及收入占比
21年财务指标
收复合增速
圆厂情况
MFC、射频电源、真空产品、
北方华创、中微公司、
气体分析仪器、压力控制器、阀
营收8.43亿，
上海微电子、芯源微、
富创精密
55.31%
国际客户A
等，半导体市场占比60%左右，
毛利率32.04%
拓荆科技、华海清科、
先进制造业占比40%。
中科信装备、凯世通
新莱应材
真空室（腔体）、泵、阀、法兰、
营收5.32亿，
18.21%
应用材料
