图表内容
图3.零部件在全球半导体设备销售额中的占比
120%
100%
56%
80%
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8%
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6%
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气/淡体/鼻空类
光学类
其他及毛利
数据来源：富创精密招股书、对通证茶研究所
零部件在全球半导体设备销售额中的占比
研究报告节选:
2）晶圆厂直接采购的耗材或备件：根据芯谋研究，中国大陆晶圆制造厂商采购设备零部件主要有石英件（Quartz）、射频发生器（RF Generator）、各种泵（Pump）、阀门（Valve）、吸盘（Chuck）等零部件，比重均在 10%左右。反应腔喷淋头（Shower Head）、边缘环（Edge Ring）等零部件的采购占比也比较高。其他零部件包括测量仪器(Gauge)、质量流量计（MFC）、陶瓷材料(Ceramic)、密封圈（O-ring）等。总最后更新: 2023-01-20
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图3.零部件在全球半导体设备销售额中的占比
120%
100%
56%
80%
60%
8%
40%
9%
8%
20%
6%
0%
气/淡体/鼻空类
光学类
其他及毛利
数据来源：富创精密招股书、对通证茶研究所
