图表内容
图14.低温化等离子体CVD设备中的射频电源
RF
线圈
RF
晶圆
据来源：《半导体制造设备基础与枸造精讲》。佐藤淳一、
财通证券研究
低温化等离子体CVD设备中的射频电源
研究报告节选:
由此可见，射频电源直接关系到等离子体的浓度、均匀度、稳定度等，是半导体工艺的重要机台及关键零部件之一。其难点主要在于电源的波形、频率、功率等最后更新: 2023-01-20
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