图表内容 图表24PERC电池生产中相关企业常用的Al2O3镀膜设备产能指标 公司名称 技术类型 产能(片/小时) 产能(MW/年) Centrotherm PECVD 6.000 捷佳伟创 PECVD 6.450 理想晶延 ALD 7 200 微导纳米 ALD 10 000 资料来源:招股说明书、华安证券研究所 注:年产能数据按166mm硅片尺十计算