图表内容 图表482021年中国半导体设备市场规模占比情况 薄膜沉积设备 18.92% 7.00% 18.92% 光刻机 86.00% 17.20% 6.60% 其他 其他设备 0.40% 30.96% 资料来源:智研咨询、华安证券研究所