图表内容
HUAAN RESEARCH
图表65公司新型显示方向产业化及研发情况
产业化阶
产品系列
设备类型
镀膜工艺
目前应用领域
硅基微型显示芯片
麒麟(QL)系列原子层沉积镀
产业化险
TALD
阻水阻氧保护
名称
拟达到的目标
所处阶段
本项目研发的针对新一代化合物半导体Mini LED显示技术的设备可用
新一代化合物半导体Mini LED
于各类高、低温薄膜工艺应用，特别是氮化硅工艺，能够全面满足
新型显示
显示技术关键工艺技术研发及
开发实现阶段
300mm/200mm晶圆的薄膜沉积工艺需求，为先进逻辑芯片、存储芯
产业化
领域
片、先进封装等提供介质层、图案化等关键工艺解决方案
化合物半
先进化合物半导体及微机电关
开发6/8寸单片ALD系统，用于特殊半导体器件、MEMS、光电器件及
开发实现阶段
导体和微
键工艺及产业化应用
化合物半导体器件等行业应用
机电领城
资料来源：公司招股说明书，华安证券研究所整理
