图表内容
表1:KLA并购历程
年份
被并购企业
新增业务
Tencor(合并)
薄膜量测设备开发
Nanopro GmbH
芯片测量的先进干涉技术
Amray
扫描电子显微镜
VARS
半导体设备图像存档和检索系统制造
DeviceWare Inc.
品圆检测相关软件
Uniphase'S Ultrapointe
共聚焦激光观察站技术应用于硅片缺陷分析
产量工程分析软件,将参数化电气测试和晶圆分类的成品率数据与在线加工和计
Acme Systems
Inc.
量数据相关联
Object Space Inc.'s Fab Solutions
过程控制软件,用于响应影响成品率的参数数据
FINLE Technologies
Inc
光刻建模和数据分析软件,用于加快先进光刻工艺的开发
Phase Metrics
数据存储行业检验认证技术
QC Optics
半导体、平板及电脑硬盘制造行业的激光检测系统
Candela Instruments
表面检测系统
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