图表内容
4:电子束图形园片缺陷检测设备结构示意图
扫描电子显微镜
系统前端
真空
主腔体
真空进样室
机械手
圆片盒
圆片
样品定位平台
来源：《集成电路产业全书》（王阳元主翁），信达证茶研发中心
相关行业研究图表
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主要缺陷类型示例
精测电子研发投入及研发费用率（亿元，%)
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4:电子束图形园片缺陷检测设备结构示意图
扫描电子显微镜
系统前端
真空
主腔体
真空进样室
机械手
圆片盒
圆片
样品定位平台
来源：《集成电路产业全书》（王阳元主翁），信达证茶研发中心
