图表内容
表8：中科飞测光学检测系列严品
设备名称
设备用途
设备简介
主要包括Bare Si晶圆、Poly_Si晶圆、介质薄膜表面晶圆(Oxide、Nitride)、
CMP研磨晶圆和金属表面晶圆：
1）非图形晶圆表面的缺陷类型及空间分布
2)污染颗粒和异常微观表面分类（突起、凹坑、晶格块陷、划伤等）
产品特点：
spruce-600
晶圆表面缺陷检测系统
·自主研发的全晶圆表面的纳米量级的颗粒和污柒检测技术
·线阵相机扫描，可配罪裸硅片或图形片暗场扫描
·最优空间分辦率：10um
·全自动化设备和SEM!标准通讯协议
200mm/300mm可配置
焚料来源：半乎体商城，信达证泰研发中心
