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陷检测及缺陷复查流程图-小牛行研(hangyan.co)-AI驱动的行业研究数据服务

陷检测及缺陷复查流程图

研究报告节选:

在检测方面主要包括两种类型：电子束缺陷检测设备及电子束缺陷复查设备，二者关系密切，在检测流程中分步使用。
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最后更新: 2023-02-05

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信达证券 | 2023-02-02 | 37个图表

图表内容

陷检测及缺陷复查流程图
工艺步骤1
缺陷形貌
工艺步骤2
明场光学检测
缺陷尺寸
暗场光学检测
电子束缺陷复查
缺陷元素成分
工艺步骤3
电子束缺陷检测
缺陷背景环境
工艺步骤4
《集成电路产业全书》（王阳元主翁），信达证券研发中心

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