精测电子研发投入及研发费用率（亿元，%)

研究报告节选:

经过前期的研发投入，精测近几年在业务层面实现突破，不仅实现了核心零部件的深度自研，同时在系列产品上得到实质性进展，上海精测已成为国内覆盖面较广、进度领先的半导体量测/检测设备供应商。具体而言，公司目前在电子束设备上已经实现订单突破；主打设备明场光学缺陷检测系统已取得突破性订单，目前已经出机；OCD 关键尺寸量测设备已顺利通过多家客户验证；电子束设备方面，公司 Review-SEM 产品及 CD-SEM 已经完成出货。