直接成像技术在精度、产能和良率等方面较传统曝光技术有明显优势-小牛行研(hangyan.co)-AI驱动的行业研究数据服务

直接成像技术在精度、产能和良率等方面较传统曝光技术有明显优势

研究报告节选:

资料来源:芯碁微装招股说明书,东亚前海证券研究所 直接成像设备在光刻精度、对位精度、良率、产能等方面较传统曝光设备具有明显优势。由于直接成像设备无需使用底片,可以显著提高光刻精度、对位精度和良率,同时工艺流程较传统曝光技术简化,便于实现自动化提升产能。伴随直接成像技术水平提升带动设备成本降低,直接成像技术在中高端 PCB 产品制造中已得到广泛应用,成为 PCB 制程中的主流曝
最后更新: 2023-03-17

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图表内容


图表16.直接成像技术在精度、产能和良率等方面较传统曝光技术有明显优势
对比方面
传统曝光技术
直接成像技术
受限于底片的图形解析能力,且光线经过底
直接成像无需底片,其解析能力由微镜尺寸
片透射后的角度变化、底片与基板贴合的平
及成像镜头缩放倍率决定,可以实现更精细
光刻精度
整度等因素均会影响线宽解析能力;目前采
的线宽。目前直接成像技术能够实现最高精
用传统曝光底片(银盐胶片)的曝光技术最
度可达5μm的线宽
高精度一般约50μm左右
直接成像技术能够根据基板的标记,点直接
底片在使用过程中吸收光致热,引起黑色区
对位精度
测量实际变形量,实时修改曝光图形,避免
域尺寸变化,造成底片膨胀,影响对位精度
底片膨胀等问题,有效提升对位精度
由于使用底片导致光刻精度和对位精度较
采用数据驱动直接成像装置提升产品良率,
良品率
低,影响产品良率
无需使用底片
底片制作工序中会产生化学废液和底片废
无需使用底片,实现绿色化生产,环保效应
环保性
弃物,造成环境污染
从CAM文件开始直接成像,免除底片制作
生产周期
底片会拉长工艺流程,导致生产周期较长
工艺流程及返工流程,有效缩短生产周期
底片使用寿命约为数千次,底片制造增加物
生产成本
不需要使用底片,但设备初始投资额较高
料和人工成本
传统曝光工艺流程复杂,需要先架设底片做
直接成像技术可以简化曝光工艺流程,实现
柔性化生产
首件确认,且过程中需要频繁更换清洁底
生产过程中便捷高效地切换产品型号,满足
片。
柔性化生产需求。
传统曝光工艺具有较多人工环节,人工成本
直写光刻工艺操作程序简洁,可实现无人
自动化水平
较高
化、智能化生产
科来源:芯基微策招股说明书,东亚前海证卷研究所