ITO.FTO.AZO性能对比

研究报告节选:

AZO、ITO 光学、导电性能优于 FTO，FTO 则更具成本优势。从性能来看，ITO 和 AZO的透过率、导电性能均优于 FTO，而 FTO 的热稳定性、化学耐久性、硬度则为最佳。从成本来看，ITO 原料 In 为稀有元素，在自然界中贮量少，成本较高，AZO 原料 Zn 获取较为容易，成本低廉，FTO 位于二者之间，且使用在线镀膜工艺，具备成本优势。

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最后更新: 2023-03-24

图表内容

图表7ITO.FTO.AZO性能对比
TCO类别
ITO
FTO
材料组成
In203
掺杂材料
Sn4+
F
Sb5+
AI3+
Ga3+
Ba3+
F3+
能隙/eV
3.5w4.0
3.84.0
3.34.6
迁移率/(cm2Ns)
95~130
18w31
28~120
载流子浓度/cm3
1.1*10201.4*1021
2.7*1020~1.2*1021
1.1*1020八1.1*1021
电阻率/(*cm)
4.4*105~2*104
7.5*105~7.5*104
6.5*105~5.1*104
导电率
FTO<AZO<ITO
透过率
FTO<ITO<AZO
等离子体频率
FTO<AZO<ITO
热稳定性
AZO<FTO
最低成膜温度
ITO<AZO<FTO
化学耐久性
AZO<ITO<FTO
氢等离子体中的稳定性
FTO<AZO
硬度
AZO<ITO<FTO
毒性
Zn<Sn<In
原料成本
Zn<Sn<In
资料来源：《透明导电戴化物镀膜玻璃的光伏应用前景》，国盛证券研完所
综合考虑透光率、导电率及实际生产的温度及成本影响，FTO为TC0玻璃主流路线。