图表内容
汽化2
主气
主气流
载气
反应器
缓冲层2
低制层2
反应器
主气流
主气流
气化
汽化9
汽化6
来源:浮法玻璃在线级膜技术现状与发展、国盛证恭研究所
研究报告节选:
玻璃运行速度快、气氛调节难,膜层生长速率在每秒数十纳米以上,且镀膜时气流不稳定、存在横向温差,需要镀膜装置、反应过程与浮法线兼容才可快速均匀镀膜。此外,由于反应物定期会在镀膜器上结灰、结晶,导致膜层缺陷,因此需要定期对镀膜器进行清理才可重新镀膜,在清理期间会产生大量未镀膜原片,需要企业自行优化镀膜工艺并改进设备,才可提升镀膜效率。若膜层质量不佳,产品将降级甚至报废,因此 TCO 玻璃前期研发、改进的调试成本较高,缺乏下游客户支持的情况下很难实现盈利,只有资金、规模较大的企业具备生产 TCO 玻璃的基础。 图表14:在线Low-E镀膜工艺流程图