石英坩埚拉晶环节示例-小牛行研(hangyan.co)-AI驱动的行业研究数据服务

石英坩埚拉晶环节示例

研究报告节选:

单个石英坩埚可用于硅棒拉制的次数有限,使用寿命受品质影响。在当前多次拉晶技术(RCZ)下,一根硅棒拉制完成后,直接对坩埚中的剩余硅液进行补充填料即可再次拉晶,因此使用一个石英坩埚可以拉制多根单晶硅棒,但单炉重复拉晶存在数次上限,其中一个核心原因便是坩埚本身使用寿命有限:
最后更新: 2023-05-07

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图表内容


图46:石英坩埚拉晶环节示例
保温筒
导流筒
石芙坩埚
热场坩埚
加热器
资料来源:WAFERPRO
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