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元素杂质在石英内赋存状态
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石英砂品质决定坩埚质量,内层原料要求较高。石英坩埚由石英砂加工而成,其中的杂质、微气泡也都是源于天然石英砂原料,因此坩埚用石英砂也需要具备很高的纯度:1)各类元素杂质含量需要很低,2)对于造成微气泡的气液包裹体杂质也需要尽量少,特别是用于内层透明层的石英砂。
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最后更新: 2023-05-07
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图表内容
图48:元素杂质在石英内赋存状态
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资料来源:《去除微小气液包裹体制备高纯石英砂的研究赵
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