图表内容
图表53：感光千膜结构构成
层名称
主要作用
厚度
保护层、隔绝氧
聚乙烯膜PE层
21μm
气、避免机械刮伤
光阻层|光致抗
蚀刻、电镀、掩孔
12-100μm
蚀刻（感光层)
保护作用：隔绝氧
聚脂薄膜
气、分层、避免机
15-19μm
械化划伤
数据来源：华经产业研究院，华福证券研究所
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图表53：感光千膜结构构成
层名称
主要作用
厚度
保护层、隔绝氧
聚乙烯膜PE层
21μm
气、避免机械刮伤
光阻层|光致抗
蚀刻、电镀、掩孔
12-100μm
蚀刻（感光层)
保护作用：隔绝氧
聚脂薄膜
气、分层、避免机
15-19μm
械化划伤
数据来源：华经产业研究院，华福证券研究所
