刻蚀工艺将光刻后的图形从光刻胶转移到待刻蚀的薄膜上-小牛行研(hangyan.co)-AI驱动的行业研究数据服务

刻蚀工艺将光刻后的图形从光刻胶转移到待刻蚀的薄膜上

研究报告节选:

进而形成光刻定义的电路图形。根据工作机理不同,刻蚀可以分为湿法刻蚀和干法刻蚀两大类,其中干法刻蚀应用占比高达 90%。1)湿法刻蚀:早期主流刻蚀工艺,各向异性较差,无法满足精细布线要求。通常用于 3μm 以上图形转移,以及干法刻蚀后清洗残留物等场景。2)干法刻蚀:以等离子体刻蚀为主,主要利用等离子体产生的高化学活性粒子轰击薄膜表面,产生挥发性气体,从而形成各类微观结构。
最后更新: 2023-05-26

相关行业研究图表


在半导体设备领域,公司是电气类和仪器仪表类零部件的国内主要企业
在半导体设备领域,公司是电气类和仪器仪表类零部件的国内主要企业-小牛行研(hangyan.co)-AI驱动的行业研究数据服务
热处理设备以炉管设备为主
热处理设备以炉管设备为主-小牛行研(hangyan.co)-AI驱动的行业研究数据服务
本土企业在半导体刻蚀设备领域已全面覆盖ICP和CCP
本土企业在半导体刻蚀设备领域已全面覆盖ICP和CCP-小牛行研(hangyan.co)-AI驱动的行业研究数据服务
2022年积塔半导体PVD中标情况
2022年积塔半导体PVD中标情况-小牛行研(hangyan.co)-AI驱动的行业研究数据服务
截至2023Q1末,公司合同负债达到78.22亿元
截至2023Q1末,公司合同负债达到78.22亿元-小牛行研(hangyan.co)-AI驱动的行业研究数据服务
刻蚀工艺将光刻后的图形从光刻胶转移到待刻蚀的薄膜上
刻蚀工艺将光刻后的图形从光刻胶转移到待刻蚀的薄膜上-小牛行研(hangyan.co)-AI驱动的行业研究数据服务

相关行业研究报告


可比公司估值(裁至2023/05/25收盘股价)-小牛行研(hangyan.co)-AI驱动的行业研究数据服务 公司分业务收入预测(百万元)-小牛行研(hangyan.co)-AI驱动的行业研究数据服务 2022年七星华创精密电子销售净利率达到40.47%,同比+5.60pct-小牛行研(hangyan.co)-AI驱动的行业研究数据服务
北方华创 | 东吴证券 | 2023-05-26 | 61个图表

图表内容


刻蚀工艺将光刻后的图形从光刻胶转移到待刻蚀的薄膜上
薄膜沉积:长一层待刻蚀测
光刻:把图形从光罩复刻到
匀胶:涂抹光刻胶
光刻胶
氧化层
显影:去掉经曝光的光刻胶
刻蚀:挖掉缕空的薄膜
去胶:去掉剩余光刻胶
氧化层
来源:中微公司招股说明书,东吴证养研究所