本土企业在半导体刻蚀设备领域已全面覆盖ICP和CCP

研究报告节选:

全球刻蚀设备仍由 LAM、TEL 和 AMAT 主导，本土企业已经全面覆盖 ICP 和CCP。2020 年 LAM、TEL 和 AMAT 在全球刻蚀设备市场份额分别达到 47%、27%和17%，进口替代逻辑较强。在本土企业中，中微公司、北方华创率先实现产业化，已全面覆盖 ICP 和 CCP，整体呈现错位竞争。特别地，公司在 ICP 领域具备较强市场竞争力，广泛应用于硅刻蚀，以及铝、钨等金属刻蚀等，引领国产替代浪潮。