热处理设备以炉管设备为主

研究报告节选:

炉管设备是氧化/扩散/退火的基本设备，在热处理设备中占比高达 83%。据 Gartner数据，在 2020 年全球热处理设备市场中，栅极堆叠和炉管设备市场占比分别为 17%和83%。在炉管设备中，卧式炉早期广泛应用，立式炉具备自动化程度高、颗粒玷污少等特点，逐渐取代卧式炉；快速热处理炉（RTP）相比立式炉具备热预算少、加工时间短、温度均匀等优势，应用范围广泛，2020 年在热处理设备中占比达到 47%。