2021年全球热处理设备市场基本由AMAT、TEL、日立主导

研究报告节选:

全球范围内来看，AMAT、TEL 在热处理设备领域竞争力较强，2021 年全球市场份额分别达到 46%、21%，尤其在快速退火 RTP 领域，AMAT 具备全球主导地位，2020年全球份额高达 70%。在国产供应商中，屹唐半导体、北方华创等已形成批量出货，其中公司产品已成功覆盖氧化/扩散炉、RTP 等。据我们不完全统计，2022 年公司在华虹无锡、积塔半导体热处理设备招标中份额分别为 7%、44%，已具备较强市场竞争力。