图表内容
图51：2024年中国大陆半导体清洗设备市场规模约133亿元
2022E
2023E
2024E
中国大陆半导体设备销售额（亿元）①
56%
5%
58%
-5%
1%
32%
中国大陆半导体清洗设备市场规模（亿元）②=①5%
干法清洗设备(10%)
淫法清洗设备(90%)
其中
单片清洗设备(75%)
其中
槽式清洗设备(18%)
其他清洗设备(7%)
数据来源：SEMI
东吴证券研究所测算
2024年中国大陆半导体清洗设备市场规模约133亿元
研究报告节选:
半导体清洗设备种类繁多，湿法&单片清洗为目前行业主流。1）若按照清洗介质的不同，半导体清洗设备可划分为湿法和干法两条技术路线，湿法清洗约占到芯片制造清洗步骤的 90%以上；2）在湿法清洗工艺路线下，又细分为单片清洗设备、槽式清洗设备、组合式清洗设备等，其中单片清洗设备具备极高的工艺控制和微粒去除能力，可有效解决晶圆间交叉污染，应用广泛，是晶圆制造环节采用的主要清洗方式。最后更新: 2023-05-26
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图51：2024年中国大陆半导体清洗设备市场规模约133亿元
2022E
2023E
2024E
中国大陆半导体设备销售额（亿元）①
56%
5%
58%
-5%
1%
32%
中国大陆半导体清洗设备市场规模（亿元）②=①5%
干法清洗设备(10%)
淫法清洗设备(90%)
其中
单片清洗设备(75%)
其中
槽式清洗设备(18%)
其他清洗设备(7%)
数据来源：SEMI
东吴证券研究所测算
