图表内容
表3：公司清洗设备已成功覆盖单片清洗和槽式清洗设备
产品名称
特点/技术
应用领域
应用单片晶圆旋转湿法清洗技术，具有清洗选择性好、清洗效率
0.5μm-28nm集成电
Saqua系列SC3000A
高等技术，包括化学药液保护系统、管路防静电系统、兆声波系
路、先进封装、微机
12英寸单片清洗机
统等
电系统
Saqua系列SC3000A
采用推叠式的技术，包括推叠式的三层工艺腔室、多层晶圆传输
12英寸堆叠式单片清
90-28nm集成电路
系统、各工艺腔室独立的工艺体系等
洗机
Bpure系列石英舟/管
采用浸泡式处理工艺，主要用于12英寸及以下尺寸的扩散、外延
集成电路、先进封
清洗机
等设备的石英管/舟、碳化硅管的清洗
装、光伏
Bpure系列
够实现全自动倒片装置，使自动化程度更高且兼容8寸、12寸硅
WE3000A、WE2000A
集成电路、先进封装
片清洗。还具有兆声波系统、管路防静电等配置
全自动槽式清洗机
数据来源：公司官网，东吴证养研究所（注：产品系列可能不全）
