图表内容
图52：2022年半导体清洗设备国产化率超过30%
中国大陆清洗设备市场规模（亿元）》
盛美上海清洗设备收入（亿元）
5.0
6.3
8.2
10.6
20.8
盛美上海市场份额(%)
11.2%
13.4%
12.5%
10.2%
21.0%
至纯科技清洗设备收入（亿元）
0.8
2.2
7.0
7.9
至纯科技市场份额（%)》
1.7%
3.4%
6.8%
8.0%
芯源微单片式湿法设备收入（亿元）
0.7
1.0
0.8
2.9
5.5
芯源微市场份额(%)
1.6%
2.0%
1.2%
2.8%
5.6%
清洗设备国产化率(%)（仅考虑上述三家）
13%
17%
17%
20%
35%
数据来源：SEMI
Wind
东吴证券研究所测算
