图表内容
图54:在半导体设备领域,公司是电气类和仪器仪表类零部件的国内主要企业
分类
零部件具体类别
占设备成本
应用设备类别
国际主要企业
国内主要企业
的比例
国产化情况
金属类:富创精密、靖江
金属类:京鼎精密,
内衬、匀气盘等;金属结构件:托盘
品类繁多,整体国产化率相对
机械类
冷却板、底座、铸钢平台等;非金属
20%-40%
应用于所有设备
非金属类:菲利华〔石英
较高,但高端产品国产化率较
机械件:石英,陶瓷件、硅部件、静电
台湾新鹤、美国杜邦等
对于核心模块(射频电源
等),国内企业尚未进入国际
半导体设备厂商,少量应用于
屯气类
射频电源、射频医配器、远程等离子源
、供电系统、工控电脑等
10%-20%
应用于所有设备
AdvancedEnergy.MKS
北方华创(收购的北广科
回内半导体设备厂商,主要应
技资产),英杰电气等
用于光伏、LED等泛半导体设
备,回产化率低,高鸿产品尚
未国产化
EFEM、机械手、,加热带、腔体模组,
富创精密、华卓精科(双工
机电一体类
BrooksAutomation.Rorze
品类较为繁多,整体国产化率
间体模组、双工机台,浸液系统、温控
10%-25%
应用于所有设备
机台)·新松机器人(机械
系统等
ASML(自产双工机台
手),京仪自动化〔温控系
不高,功能复杂的高鸿产品未
统)等
国产化
气体输送系统类:气柜,气体管路、管
薄膜沉积、刻蚀
富创精密,正帆科技、万业
品类较为繁多,少数企业产品
离子注入等干法设
赶科林、Edwards、Ebam
全业(CompartSystem)
已进入国际半导体设备厂商,
10%-30%
备;以及CMP、清
、MKS等
菜应材、沈阳科仪,北京中
整体回产化率处于中等水平,
门、接头、过滤器、液体管路等
大部分品类的高站产品未国产
回内全业自研产品仅少量用于
北方华创(旗下的七星流
同内半导体设备厂商,由于产
仪器仅表类
气体流量计、真空压力计等
应用于所有设备
MKs
Horiba等
量计),万业全业(收购
品成本占比较低,国内企业主
的CompartSystem)等
要以采购进口产品为主,高端
产品尚未国产化
北京国望光学科技有限公司国内企业已少量应用于国内光
光学类
55%
主妻应用于光创设
备、量测设备等
Zeiss.Cymer.
ASML
长春回科精密光学技术有
限公司等
产品尚未国产化
数据来源:富创精密招股说明书,东吴证券研究所