光刻机曝光系统与投影物镜

研究报告节选:

高用量、大体量的光刻透镜：典型的投影物镜可包含高达 30 块镜片，60 个光学表面，直径最大达 0.8m，重量可达 500kg。数值孔径是衡量透镜系统收集和聚焦光线能力的参数，直接影响光刻机的成像精度。单个透镜本身会导致相差，因此提高数值孔径方法之一是将多个精度更高的透镜和反射镜集成。ASML DUV高端投影物镜的像差则被控制在 2nm。这也导致高精度光刻机镜片用量与体量极大，透镜组目前数值孔径最大的光学系统高度超过 1.2 米，重量超过 1 吨。目前主流的光刻机镜片在 20 片以上。