![例整本自半导本纹猫国广化举]仪处寸于牧水K平 - 2024年05月 - 行业研究数据](https://cdn.hangyan.co/charts/2a/2a83f0155c6568135e23fbf2b39d807ef6894a819b3a5da7073c5685bf155fc6-p-11-c-0.png)
图表内容
国产
设备种类
国外主要厂商
国产主要厂商
化率
PVD
应用材料
(美国)
北方华创
应用材料（美国）、
泛林半导体（美
CVD
北方华创、拓荆科技
国)、TEL(日本)
>20%
北方华创、拓荆科技、微
ALD
TEL(日本)、应用材料（美国）
导纳米
泛林半导体（美国）、TL(日本)、中微公司、北方华创、屹
刻蚀
>20%
应用材料（美国）
唐半导体
ASML(丹麦)、尼康（日本）、佳
光刻
上海微电子
<1%
能（日本）
涂胶显影
TEL(日本)、DNS
(日本)
芯源微
>20%
DNS(日本)、TEL(日本)、泛林
盛美上海、北方华创、至
清洗
>50%
半导体（美国）
纯科技、芯源微
CMP
应用材料（美国）、TYK(日本)
华海清科
>30%
离子注入
应用材料（美国）、Axcell(美国)
万业企业
(凯世通)
<10%
科磊半导体（美国）、陆得斯科技（美
精测电子、中科飞测、上
过程控制
<5%
国)、日立（日本）
海睿励
热处理
KE(日本)、TEL(日本)
北方华创、屹唐半导体
>30%
资料来源：Gartner
半导体行业纵横，源达信息证券研究所
